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掃描探針顯微鏡(SPM)等超精密加工與檢測儀器容易受到外界環(huán) 境微小振動等干擾,致使儀器在通常條件下無法達(dá)到要求的指標(biāo).為此,結(jié)合主動隔振和被動隔振振技術(shù)研究對外界微小振動擾動有效隔離方法.以本原納米儀器有 限公司制作的CSPM4000掃描探針顯微鏡作為實(shí)驗(yàn)對象進(jìn)行試驗(yàn),探討利用主動隔振系統(tǒng)來降低超精密儀器對于外部試驗(yàn)環(huán)境的苛刻要求,進(jìn)而改善超精密儀 器的試驗(yàn)性能.實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示隔振試驗(yàn)裝置具有較好的隔振效果.可滿足使用要求.