OPEN SYS系列全開放的掃描探針顯微測試加工平臺
開放式掃描探針顯微鏡
* 圖片僅供參考。根據(jù)用戶的具體需求,儀器的外觀可能會不同。
多功能開放式掃描探針顯微鏡(SPM)系統(tǒng)(簡稱“開放系統(tǒng)”)是本原在十多年的技術積累和經(jīng)驗提煉的基礎上所推出的換代產(chǎn)品。開放系統(tǒng)使科學工作者能夠?qū)x器進行必要的監(jiān)控或改造,以滿足自身科學研究的特殊需要。用戶既可以把它當作一臺檢測儀器,又可以把它當作進行非常規(guī)試驗和二次開發(fā)的實驗平臺。與國外或本原以往研制的產(chǎn)品相比,開放系統(tǒng)最顯著的特點就是其多功能性和開放性。
OpenSys系列掃描探針顯微鏡主要性能介紹
- 單一探頭的多功能平臺結(jié)構(gòu),集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能,工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等
- 獨特的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識別技術,全數(shù)字控制的參數(shù)設置和采集
- 數(shù)字控制反饋回路,16-bit分辨的A/D和D/A
- 采用單一的外觸發(fā)時基和高速緩存,實現(xiàn)多通道信號的高速同步采集
- 采用基于TCP/IP協(xié)議的高速通信接口,實現(xiàn)雙處理器——雙操作系統(tǒng)的協(xié)同工作和大容量高速數(shù)據(jù)交換,使系統(tǒng)具有極大的開放性
- 系統(tǒng)內(nèi)部預留多個可供輸入/輸出信號的處理通道,具有方便的擴展能力
- 系統(tǒng)外部預留標準開放接口,滿足用戶對儀器進行二次開發(fā)的需求
- 具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能
- 具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術
- 具備超媒體用戶界面的納米操縱工具
- 用戶控制端軟件兼容Windows 11/10/8/7Vista/XP/2000操作系統(tǒng)
- 分析處理軟件在數(shù)據(jù)類型識別方面采用固定編碼和動態(tài)編碼兩種技術,實現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴展性
- 掃描區(qū)域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調(diào)整,可連續(xù)采集、存儲和重現(xiàn)動態(tài)過程
- 實時定點測試功能
- 方便的鼠標控制掃描區(qū)域平移、剪切功能,掃描角度連續(xù)可調(diào),多種樣品傾斜度實時校正功能
- 樣品粒度和粗糙自動分析功能
性能指標
- 分辨率: STM:橫向 0.13nm 垂直 0.01nm(以石墨定標) AFM:橫向 0.26nm 垂直 0.1nm (以云母定標)
- 電流檢測靈敏度:≤10pA
- 力檢測靈敏度: ≤1nN
- 空間定位精度: ≤0.5nm
- 預留輸出信號通道數(shù):6ch (1ch±200V,5ch±10V,16-bit DAC)
- 預留輸入信號通道數(shù):16ch (250kHz采樣率,16-bit ADC,帶可控低通濾波器和可控增益放大器)
- 預留頻率合成輸出: 2ch(振幅為0~2V;頻率為DC~1000kHz,32-bit分辨)
OpenSys 系列掃描探針顯微鏡標配
- 集成STM、AFM和LFM等多種模式的掃描探頭
- 在線控制/后處理軟件
- 主流配置微機,預裝Windows操作系統(tǒng)
- 1μm × 1μm Scanner
- 20μm × 20μm Scanner
- 50μm × 50μm Scanner(選配)
- 70μm × 70μm Scanner(選配)
- 100μm×100μm Scanner(選配)
- 光學輔助顯微系統(tǒng)(選配)
- 可附加第二、三顯示器(選配)