掃描探針顯微鏡(SPM)等超精密加工與檢測儀器容易受到外界環(huán) 境微小振動等干擾,致使儀器在通常條件下無法達到要求的指標.為此,結合主動隔振和被動隔振振技術研究對外界微小振動擾動有效隔離方法.以本原納米儀器有 限公司制作的CSPM4000掃描探針顯微鏡作為實驗對象進行試驗,探討利用主動隔振系統(tǒng)來降低超精密儀器對于外部試驗環(huán)境的苛刻要求,進而改善超精密儀 器的試驗性能.實驗結果顯示隔振試驗裝置具有較好的隔振效果.可滿足使用要求.
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作者
邱熹程,傅惠南,巫立東
期刊
機電工程技術
年份