掃描探針顯微鏡(SPM)等超精密加工與檢測(cè)儀器容易受到外界環(huán) 境微小振動(dòng)等干擾,致使儀器在通常條件下無(wú)法達(dá)到要求的指標(biāo).為此,結(jié)合主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振振技術(shù)研究對(duì)外界微小振動(dòng)擾動(dòng)有效隔離方法.以本原納米儀器有 限公司制作的CSPM4000掃描探針顯微鏡作為實(shí)驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行試驗(yàn),探討利用主動(dòng)隔振系統(tǒng)來(lái)降低超精密儀器對(duì)于外部試驗(yàn)環(huán)境的苛刻要求,進(jìn)而改善超精密儀 器的試驗(yàn)性能.實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示隔振試驗(yàn)裝置具有較好的隔振效果.可滿(mǎn)足使用要求.
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作者
邱熹程,傅惠南,巫立東
期刊
機(jī)電工程技術(shù)
年份