 |
? | ||
系列掃描探針顯微鏡 |
|||
| CSPM5500/CSPM5500A/CSPM5500LS( “國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)”成果轉(zhuǎn)化產(chǎn)品 ) |
|
|
|
|
? |
|
國際主流的研究級(jí)專業(yè)儀器，集成原子力顯微鏡(AFM)，橫向力顯微鏡(LFM)，掃描隧道顯微鏡(STM) |
|
|
|
解析度： 原子力顯微鏡：橫向0.2nm，垂直0.03nm（以雲(yún)母晶體標(biāo)定） |
|
|
?????????????? 掃描隧道顯微鏡：橫向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶體標(biāo)定） |
||
|
|
高精度計(jì)量型儀器，採用NanoSensors提供的可溯源于國際計(jì)量權(quán)威機(jī)構(gòu)PTB的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行校準(zhǔn) |
|
|
|
一鍵式快速全程全自動(dòng)進(jìn)樣，無需手動(dòng)預(yù)調(diào)，行程大於30mm，可容納超大樣品，最大樣品尺寸為：45mm×45mm×30mm |
|
|
|
兩級(jí)可讀數(shù)樣品調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可對(duì)樣品進(jìn)行精確的檢測(cè)區(qū)域定位 |
|
|
|
一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級(jí)掃描即可得到納米級(jí)的實(shí)際資訊 |
|
|
|
先進(jìn)PID回饋演算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個(gè)數(shù)量級(jí) |
|
|
|
系統(tǒng)採用10M/100M快速乙太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與電腦連接，支援固件遠(yuǎn)端升級(jí) |
|
|
|
主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示幕，系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)即時(shí)顯示 |
|
|
|
具備即時(shí)線上三維圖像顯示功能，便於用戶在檢測(cè)過程中隨時(shí)直觀獲得樣品資訊 |
|
|
|
集成了多功能，多模式的新型原子力顯微鏡。 |
|
|
系統(tǒng)功能 |
||
|---|---|---|
 標(biāo)準(zhǔn)模組： |
| 原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式 |
| 橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學(xué)性能分析測(cè)量功能 |
| 掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等 |
| 曲線測(cè)量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等 |
| 選配功能： |
| 納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機(jī)械刻畫、向量掃描模式、DPN浸潤筆模式等 |
| 磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡 |
| 環(huán)境控制掃描探針顯微鏡 |
| 液相掃描探針顯微鏡 |
| 導(dǎo)電原子力顯微鏡 |
| 掃描探針聲學(xué)顯微鏡 |
| 掃描開爾文探針顯微鏡 |
| 掃描電容顯微鏡 |
| 壓電力顯微鏡 |
| 樣品溫度控制系統(tǒng)（控溫範(fàn)圍：-20～150℃） |
| 樣品加熱系統(tǒng)（控溫範(fàn)圍：室溫～250℃） |
| ? |