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系列掃描探針顯微鏡
CSPM5500/5500A/5500LS
“國家重大科學儀器設備開發(fā)專項”成果轉化產品
- 國際主流的研究級專業(yè)儀器,集成原子力顯微鏡(AFM),橫向力顯微鏡(LFM),掃描隧道顯微鏡(STM)
- 分辨率: 原子力顯微鏡:橫向0.2nm,垂直0.03nm(以云母晶體標定)
- 掃描隧道顯微鏡:橫向0.1nm,垂直0.01nm(以石墨晶體標定)
- 高精度計量型儀器,采用NanoSensors提供的可溯源于國際計量權威機構PTB的標準樣品進行校準
- 一鍵式快速全程全自動進樣,無需手動預調,行程大于30mm,可容納超大樣品,最大樣品尺寸為:45mm×45mm×30mm
- 兩級可讀數(shù)樣品調節(jié)機構,可對樣品進行精確的檢測區(qū)域定位
- 一次掃描技術,圖像分辨高達4096×4096物理象素,微米級掃描即可得到納米級的實際信息
- 先進PID反饋算法實現(xiàn)快速高精度作用力控制,確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像,實際掃描速度提升一個數(shù)量級
- 系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)(Fast Ethernet 10/100)或USB 3.0與計算機連接,支持固件遠程升級
- 主控機箱前面板具有16×4液晶顯示屏,系統(tǒng)當前狀態(tài)實時顯示
- 具備實時在線三維圖像顯示功能,便于用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品信息
- 集成了多功能,多模式的新型原子力顯微鏡。
標準模塊:
- 原子力顯微鏡(AFM):包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式
- 橫向力顯微鏡(LFM):具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學性能分析測量功能
- 掃描隧道顯微鏡(STM):包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等
- 曲線測量分析功能:力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等
選配功能:
- 納米加工:包括圖形刻蝕模式、壓痕/機械刻畫、矢量掃描模式、DPN浸潤筆模式等
- 磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡
- 環(huán)境控制掃描探針顯微鏡
- 液相掃描探針顯微鏡
- 導電原子力顯微鏡
- 掃描探針聲學顯微鏡
- 掃描開爾文探針顯微鏡
- 力調制模式成像技術
- 壓電響應力顯微鏡
- 掃描電容顯微鏡
- 樣品溫度控制系統(tǒng)(控溫范圍:-20~150℃)
- 樣品加熱系統(tǒng)(控溫范圍:室溫~250℃)