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精確定位掃描探針顯微鏡

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• 具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的掃描探針檢測(cè)頭超薄結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可與高分辨光學(xué)顯微鏡聯(lián)用
• 系統(tǒng)功能集成了原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應(yīng)力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
• 具有接觸模式、輕敲模式、相移成像模式、橫向力（摩擦力）模式、抬起模式等多種工作模式和力-距離（F-Z）曲線、振幅-距離（RMS-Z）曲線、相移-距離（Phase-Z）曲線、摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷等測(cè)量分析功能
• 超高分辨輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測(cè)與精確定位探針以及樣品掃描區(qū)域
• 一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級(jí)掃描即可得到納米級(jí)的實(shí)際信息
• 控制系統(tǒng)采用TI的DSP+RAM雙核信號(hào)處理器，內(nèi)置二代的實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)spm/DNA,全數(shù)字控制
• 先進(jìn)PID反饋算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個(gè)數(shù)量級(jí)，多重針尖保護(hù)技術(shù)，有效延長(zhǎng)探針使用壽命
• 系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)（Fast Ethernet 10/100）或USB3.0與計(jì)算機(jī)連接
• 主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示屏，實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)
• 具備實(shí)時(shí)在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測(cè)過程中隨時(shí)直觀獲得樣品信息
• 具有簡(jiǎn)體、繁體和英文三種語(yǔ)言版本的在線控制軟件和后處理分析軟件，基于最新Windows 系統(tǒng)開發(fā)，兼容Windows11/10/8/XP/2000/NT/9X全系列操作系統(tǒng)
• 具備雙向掃描(Trace-Retrace)、往返掃描、線掃描等多種掃描模式，并具備自動(dòng)更新掃描圖像亮度、對(duì)比度功能

技術(shù)參數(shù)

• 系統(tǒng)功能：原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應(yīng)力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
• 工作模式：接觸模式、輕敲模式、相移模式、抬起模式（支持磁力和靜電力模式）、納米加工（圖形化刻蝕、壓痕/機(jī)械刻畫，矢量掃描）
• 樣品尺寸：直徑35mm / 厚度40mm
• 進(jìn)針模式：一鍵式全自動(dòng)探針逼近，逼近精度：50nm/step
• 掃描范圍：20um×20um，80um×80um（大范圍掃描器）
• 光學(xué)顯微鏡：多物鏡正置光學(xué)顯微鏡，配置5×/ NA 0.14、20×/ NA0.34、50×/ NA0.5（選配）長(zhǎng)焦物鏡，分辨率0.8um