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目的通過(guò)直流反應(yīng)磁控濺射系統(tǒng)在304不銹鋼基體上成功制備了含鐵類(lèi)金剛石薄膜,并研究該含鐵類(lèi)金剛石薄膜的潤(rùn)濕性及抗腐蝕行為。方法通過(guò)掃描電鏡、拉曼光譜儀、原子力顯微鏡,分別對(duì)含鐵類(lèi)金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)和形貌進(jìn)行分析,利用靜態(tài)接觸角測(cè)量分析了所制備薄膜的潤(rùn)濕性,且采用動(dòng)電位極化對(duì)有無(wú)薄膜沉積的不銹鋼體系進(jìn)行了腐蝕行為測(cè)試。結(jié)果所制備薄膜具有典型的類(lèi)金剛石的非晶結(jié)構(gòu)。隨著制備過(guò)程中甲烷流量的減小,薄膜中sp~3碳含量降低,薄膜致密度逐漸降低。隨著甲烷流量的降低,薄膜表面的疏水性能逐漸減小,且自腐蝕電位向負(fù)向偏移,腐蝕電流密度逐漸增大。結(jié)論含鐵類(lèi)金剛石薄膜能明顯提高不銹鋼表面的疏水性能和抗腐蝕性能