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目的通過直流反應(yīng)磁控濺射系統(tǒng)在304不銹鋼基體上成功制備了含鐵類金剛石薄膜,并研究該含鐵類金剛石薄膜的潤濕性及抗腐蝕行為。方法通過掃描電鏡、拉曼光譜儀、原子力顯微鏡,分別對(duì)含鐵類金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)和形貌進(jìn)行分析,利用靜態(tài)接觸角測量分析了所制備薄膜的潤濕性,且采用動(dòng)電位極化對(duì)有無薄膜沉積的不銹鋼體系進(jìn)行了腐蝕行為測試。結(jié)果所制備薄膜具有典型的類金剛石的非晶結(jié)構(gòu)。隨著制備過程中甲烷流量的減小,薄膜中sp~3碳含量降低,薄膜致密度逐漸降低。隨著甲烷流量的降低,薄膜表面的疏水性能逐漸減小,且自腐蝕電位向負(fù)向偏移,腐蝕電流密度逐漸增大。結(jié)論含鐵類金剛石薄膜能明顯提高不銹鋼表面的疏水性能和抗腐蝕性能