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用磁控濺射法在奧氏體不銹鋼基片上制備了SiC 單層膜和Ti /TiN 雙層膜以及Ti /TiN / SiC 功能梯度薄膜。采用XRD 和顯微硬度計對薄膜的結晶質量和硬度進行表征; 用AFM 和SEM 對薄膜的表面和截面形貌進行了表征。結果表明: Ti /TiN 雙層
膜在氬氮流量比為15∶ 15 時，薄膜的結晶質量最好，硬度最高，達到15. 6 GPa，最適合作為鋼基SiC 薄膜的緩沖層。另外，功能梯度SiC 薄膜比SiC 單層膜的結晶質量好; 不同退火溫度下功能梯度SiC 薄膜的硬度高于SiC 單層膜，同時功能梯度SiC 薄膜的表面結晶質量也優(yōu)于SiC 單層膜