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用原子力顯微鏡(AFM)對(duì)直流濺射和射頻濺射制備鋁膜的表面粗糙度及顆粒大小進(jìn)行了分析比較.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:濺射功率和濺射時(shí)間對(duì)鋁膜表面粗糙度有影響,通過延長(zhǎng)濺射時(shí)間...