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用原子力顯微鏡(AFM)對直流濺射和射頻濺射制備鋁膜的表面粗糙度及顆粒大小進行了分析比較.實驗結(jié)果表明:濺射功率和濺射時間對鋁膜表面粗糙度有影響,通過延長濺射時間...