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采用一種無耦合、三軸精確定位的納米運(yùn)動平臺作為掃描器,研制了一種新型原子力顯微鏡(AFM).該AFM有效消除了通常使用的單管式壓電陶瓷掃描器掃描過程中運(yùn)動耦合產(chǎn)生的兩種結(jié)構(gòu)誤差--交叉耦合誤差和掃描范圍誤差,極大提高了納米測量及操作的精度.

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