采用一種無(wú)耦合、三軸精確定位的納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)作為掃描器,研制了一種新型原子力顯微鏡(AFM).該AFM有效消除了通常使用的單管式壓電陶瓷掃描器掃描過(guò)程中運(yùn)動(dòng)耦合產(chǎn)生的兩種結(jié)構(gòu)誤差--交叉耦合誤差和掃描范圍誤差,極大提高了納米測(cè)量及操作的精度.
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作者
焦念東,王越超,席寧,董再勵(lì).
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