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采用低溫磁控濺射技術在滌綸紡粘非織造布表面沉積ITO（Indium Tin Oxide，銦錫氧化物）薄膜，利用原子力顯微鏡（AFM）觀察ITO納米薄膜在纖維表面沉積的微觀結構，并較為系統(tǒng)地分析了濺射時間、濺射功率、氧氣流量、氣體壓力以及基底溫度對ITO透明導電薄膜微結構的影響。得到以下結論：沉積時間的長短、工作氣體壓力的大小對成膜的均勻性有很大影響；較高的射頻濺射功率將導致納米顆粒因團聚而增大；而氧氣流量的大小則影響著顆粒結晶程度的好壞和晶粒尺寸的大小；基底溫度升高則會導致顆粒產(chǎn)生熱遷移現(xiàn)象。