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采用低溫磁控濺射技術(shù)在滌綸紡粘非織造布表面沉積ITO（Indium Tin Oxide，銦錫氧化物）薄膜，利用原子力顯微鏡（AFM）觀察ITO納米薄膜在纖維表面沉積的微觀結(jié)構(gòu)，并較為系統(tǒng)地分析了濺射時(shí)間、濺射功率、氧氣流量、氣體壓力以及基底溫度對(duì)ITO透明導(dǎo)電薄膜微結(jié)構(gòu)的影響。得到以下結(jié)論：沉積時(shí)間的長短、工作氣體壓力的大小對(duì)成膜的均勻性有很大影響；較高的射頻濺射功率將導(dǎo)致納米顆粒因團(tuán)聚而增大；而氧氣流量的大小則影響著顆粒結(jié)晶程度的好壞和晶粒尺寸的大??；基底溫度升高則會(huì)導(dǎo)致顆粒產(chǎn)生熱遷移現(xiàn)象。