本文主要介紹了用于掃描力顯微鏡并帶動探針運動的掃描器的研制.利用該掃描器,研制了能安裝在納米測量機上作為探測傳感器的上掃描力顯微鏡.掃描力顯微鏡與中科院化學所本原納米儀器公司的掃描探針顯微鏡控制器聯(lián)接進行實驗測試,在23μm×23μm×5μm的掃描范圍對樣品進行了掃描成像.經測試、分析和計算,在全量程掃描范圍內橫向和縱向分辨力分別為O.35nm和0.1m、在未有任何軟件和硬件補償的情況下橫向滿量程掃描范圍內精度為5[％].
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作者
陳曉梅,馬曉蘇,朱振宇,楊德良
期刊
電子測量與儀器學報
年份