本文主要介紹了用于掃描力顯微鏡并帶動(dòng)探針運(yùn)動(dòng)的掃描器的研制.利用該掃描器,研制了能安裝在納米測(cè)量機(jī)上作為探測(cè)傳感器的上掃描力顯微鏡.掃描力顯微鏡與中科院化學(xué)所本原納米儀器公司的掃描探針顯微鏡控制器聯(lián)接進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試,在23μm×23μm×5μm的掃描范圍對(duì)樣品進(jìn)行了掃描成像.經(jīng)測(cè)試、分析和計(jì)算,在全量程掃描范圍內(nèi)橫向和縱向分辨力分別為O.35nm和0.1m、在未有任何軟件和硬件補(bǔ)償?shù)那闆r下橫向滿量程掃描范圍內(nèi)精度為5[％].
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作者
陳曉梅,馬曉蘇,朱振宇,楊德良
期刊
電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)
年份