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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)的一個(gè)重要應(yīng)用就是對(duì)樣品表面的微納米級(jí)尺寸特征進(jìn)行成像,但在掃描成像的過(guò)程中,由于針尖的影響作用,使得掃描所獲圖像是原子力探針和樣品共同作用的結(jié)果,而不是樣品形貌的真實(shí)描述。本文通過(guò)用具有不同形狀、尺寸針尖的探針對(duì)同一樣品進(jìn)行成像,將所得圖像進(jìn)行分析、對(duì)比,模擬和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,為獲得更準(zhǔn)確的特征尺寸成像,對(duì)有不同特征尺寸的樣品,需要選擇適合的探針對(duì)其實(shí)施成像。