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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)的一個重要應(yīng)用就是對樣品表面的微納米級尺寸特征進(jìn)行成像,但在掃描成像的過程中,由于針尖的影響作用,使得掃描所獲圖像是原子力探針和樣品共同作用的結(jié)果,而不是樣品形貌的真實描述。本文通過用具有不同形狀、尺寸針尖的探針對同一樣品進(jìn)行成像,將所得圖像進(jìn)行分析、對比,模擬和實驗結(jié)果表明,為獲得更準(zhǔn)確的特征尺寸成像,對有不同特征尺寸的樣品,需要選擇適合的探針對其實施成像。