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用脈沖激光沉積法制備類金剛石膜的實(shí)驗(yàn)中,保持其它實(shí)驗(yàn)參數(shù)不變,沉積時(shí)間分別取15、20min和25min來(lái)沉積類金剛石膜。用Raman光譜儀對(duì)薄膜的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè);用原子力顯微鏡對(duì)薄膜的表面形貌進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)結(jié)果表明,在其它實(shí)驗(yàn)參數(shù)不變的條件下,沉積時(shí)間從15min增加到20min時(shí),薄膜中石墨晶粒數(shù)量或體積減小,sp3/sp2比值和薄膜密度明顯增大,薄膜表面粗糙度顯著降低。沉積時(shí)間從20min增加到25min時(shí),薄膜中石墨晶粒數(shù)量或體積減小,但是sp3/sp2比值和薄膜密度都沒(méi)有明顯改變。