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用脈沖激光沉積法制備類金剛石膜的實驗中,保持其它實驗參數(shù)不變,沉積時間分別取15、20min和25min來沉積類金剛石膜。用Raman光譜儀對薄膜的微觀結構進行檢測;用原子力顯微鏡對薄膜的表面形貌進行檢測。檢測結果表明,在其它實驗參數(shù)不變的條件下,沉積時間從15min增加到20min時,薄膜中石墨晶粒數(shù)量或體積減小,sp3/sp2比值和薄膜密度明顯增大,薄膜表面粗糙度顯著降低。沉積時間從20min增加到25min時,薄膜中石墨晶粒數(shù)量或體積減小,但是sp3/sp2比值和薄膜密度都沒有明顯改變。