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為了加工形貌穩(wěn)定且尺寸盡可能小的納結構,建立了一套連續(xù)激光復合微納探針的加工系統(tǒng),并研究了光纖探針導光的連續(xù)激光輻照微納探針的近場增強效應以及該系統(tǒng)的加工性能。首先,根據(jù)表面等離子體激元理論仿真分析了激光輻照原子力顯微鏡(AFM)探針的近場增強因子,并研究了微納探針的針尖溫度場和針尖熱膨脹。接著,搭建了基于光纖探針導光的連續(xù)激光復合微納探針的納結構加工系統(tǒng)。最后,對聚乙烯片狀材料樣品進行了納結構加工。結果顯示:加工得到的納米點尺度為200nm左右;納米線的尺度為30~40nm。結果表明:光纖探針導光連續(xù)激光復合微納探針系統(tǒng)避免了復雜的空間光路結構,是一種成本低廉,結構簡單的系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)納結構的加工。