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為了加工形貌穩(wěn)定且尺寸盡可能小的納結(jié)構(gòu),建立了一套連續(xù)激光復(fù)合微納探針的加工系統(tǒng),并研究了光纖探針導(dǎo)光的連續(xù)激光輻照微納探針的近場(chǎng)增強(qiáng)效應(yīng)以及該系統(tǒng)的加工性能。首先,根據(jù)表面等離子體激元理論仿真分析了激光輻照原子力顯微鏡(AFM)探針的近場(chǎng)增強(qiáng)因子,并研究了微納探針的針尖溫度場(chǎng)和針尖熱膨脹。接著,搭建了基于光纖探針導(dǎo)光的連續(xù)激光復(fù)合微納探針的納結(jié)構(gòu)加工系統(tǒng)。最后,對(duì)聚乙烯片狀材料樣品進(jìn)行了納結(jié)構(gòu)加工。結(jié)果顯示:加工得到的納米點(diǎn)尺度為200nm左右;納米線的尺度為30~40nm。結(jié)果表明:光纖探針導(dǎo)光連續(xù)激光復(fù)合微納探針系統(tǒng)避免了復(fù)雜的空間光路結(jié)構(gòu),是一種成本低廉,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)納結(jié)構(gòu)的加工。