在微機(jī)械電子系統(tǒng)中, 表面粗糙峰的幾何特征、尺寸以及形狀等對(duì)表面黏著以及摩擦特性有重要作用. 為了研究粗糙度對(duì)黏著力的影響, 首先用KOH溶液腐蝕硅片, 得到8個(gè)粗糙度不同的樣品. 使用原子力顯微鏡(AFM)來測(cè)量樣品的黏著力. 分別使用兩種探針來模擬不同的接觸幾何, 第一種探針針尖為一個(gè)2 μm左右的平臺(tái), 另一種探針為尖探針. 試驗(yàn)分別在干燥的手套箱內(nèi)以及在空氣中進(jìn)行. 在樣品表面隨機(jī)選取15個(gè)測(cè)量點(diǎn), 每個(gè)點(diǎn)測(cè)量50次, 然后根據(jù)計(jì)算值, 確定平面的平均黏著力以及標(biāo)準(zhǔn)差. 并與Robinovich模型的計(jì)算結(jié)果作比較. 結(jié)果顯示: 當(dāng)粗糙度較小的時(shí)候, 隨著粗糙度增大, 黏著力下降很快, 這與Robinovich模型變化趨勢(shì)較吻合; 當(dāng)粗糙度較大時(shí), 隨著粗糙度增大黏著力略有增加, 但不是很明顯, 與Robinovich模型相差較大.
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作者
陳榮譽(yù);黃平.
期刊
摩擦學(xué)學(xué)報(bào),3,269-275(2016)
年份