在微機械電子系統(tǒng)中, 表面粗糙峰的幾何特征、尺寸以及形狀等對表面黏著以及摩擦特性有重要作用. 為了研究粗糙度對黏著力的影響, 首先用KOH溶液腐蝕硅片, 得到8個粗糙度不同的樣品. 使用原子力顯微鏡(AFM)來測量樣品的黏著力. 分別使用兩種探針來模擬不同的接觸幾何, 第一種探針針尖為一個2 μm左右的平臺, 另一種探針為尖探針. 試驗分別在干燥的手套箱內(nèi)以及在空氣中進行. 在樣品表面隨機選取15個測量點, 每個點測量50次, 然后根據(jù)計算值, 確定平面的平均黏著力以及標準差. 并與Robinovich模型的計算結(jié)果作比較. 結(jié)果顯示: 當(dāng)粗糙度較小的時候, 隨著粗糙度增大, 黏著力下降很快, 這與Robinovich模型變化趨勢較吻合; 當(dāng)粗糙度較大時, 隨著粗糙度增大黏著力略有增加, 但不是很明顯, 與Robinovich模型相差較大.
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作者
陳榮譽;黃平.
期刊
摩擦學(xué)學(xué)報,3,269-275(2016)
年份