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利用雙離子束輔助沉積技術, 制備類金剛石薄膜。并用、、語、一語和等方法對類金剛石薄膜的結構、化學狀態(tài)、硬度、表面形貌及微觀摩擦磨損特性進行了研究。實驗結果表明, 類金剛石薄膜是具有, , 混合健的非晶結構, 的含圣較高, 其結構特征接近金剛石。類金剛石薄膜表面光滑, 硬度高。類金剛石薄膜的微摩擦系數(shù)為, 低于同樣條件下探針單晶硅摩擦副的微摩擦系數(shù)耐磨能力較高。微摩擦力基本不隨掃描次數(shù)而變化。