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利用雙離子束輔助沉積技術(shù), 制備類金剛石薄膜。并用、、語、一語和等方法對類金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)、化學(xué)狀態(tài)、硬度、表面形貌及微觀摩擦磨損特性進(jìn)行了研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明, 類金剛石薄膜是具有, , 混合健的非晶結(jié)構(gòu), 的含圣較高, 其結(jié)構(gòu)特征接近金剛石。類金剛石薄膜表面光滑, 硬度高。類金剛石薄膜的微摩擦系數(shù)為, 低于同樣條件下探針單晶硅摩擦副的微摩擦系數(shù)耐磨能力較高。微摩擦力基本不隨掃描次數(shù)而變化。