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　基于掃描探針理論, 本文介紹了一種超精密加工用金剛石刀具刃口鋒銳輪廓的測量方法, 給出了測量圖象并分析了測量結(jié)
果, 首次對金剛石刀具刃口輪廓參數(shù)進行了A FM 掃描原理下的初步評定。這一方法可提高金剛石刀具刃口鋒銳度的測量準確度,
對進一步分析刃口參數(shù)如何影響超精密加工表面質(zhì)量具有指導意義。