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 基于掃描探針理論, 本文介紹了一種超精密加工用金剛石刀具刃口鋒銳輪廓的測(cè)量方法, 給出了測(cè)量圖象并分析了測(cè)量結(jié)
果, 首次對(duì)金剛石刀具刃口輪廓參數(shù)進(jìn)行了A FM 掃描原理下的初步評(píng)定。這一方法可提高金剛石刀具刃口鋒銳度的測(cè)量準(zhǔn)確度,
對(duì)進(jìn)一步分析刃口參數(shù)如何影響超精密加工表面質(zhì)量具有指導(dǎo)意義。

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作者

孫濤,譚久彬,董申.

期刊

儀器儀表學(xué)報(bào),21(1),54-57(2000)

年份