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針對(duì)樣本掃描模式原子力顯微鏡, 對(duì)其管式掃描器2樣本2探針系統(tǒng)進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)學(xué)分析, 建立了該系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型,該模型表明: 對(duì)于給定原子力顯微鏡掃描器, 樣本上與探針接觸點(diǎn)的橫向和縱向位移取決于探針尖端相對(duì)于掃描管軸心的偏置量、所加電壓(或名義掃描范圍) 及樣本厚度。據(jù)此模型, 對(duì)由于彎曲運(yùn)動(dòng)模式所產(chǎn)生的兩種重要誤差—交叉耦合誤差及掃描范圍誤差進(jìn)行了定量分析, 分析表明: 掃描范圍誤差主要受樣本厚度及名義掃描范圍影響, 而Z 向交叉耦合誤差主要受探針偏置量及名義掃描范圍影響, 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了所建立的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型和誤差計(jì)算公式的正確性; 另外, 還提出了相應(yīng)的減小誤差的方法。