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針對樣本掃描模式原子力顯微鏡, 對其管式掃描器2樣本2探針系統(tǒng)進行了運動學(xué)分析, 建立了該系統(tǒng)的運動學(xué)模型,該模型表明: 對于給定原子力顯微鏡掃描器, 樣本上與探針接觸點的橫向和縱向位移取決于探針尖端相對于掃描管軸心的偏置量、所加電壓(或名義掃描范圍) 及樣本厚度。據(jù)此模型, 對由于彎曲運動模式所產(chǎn)生的兩種重要誤差—交叉耦合誤差及掃描范圍誤差進行了定量分析, 分析表明: 掃描范圍誤差主要受樣本厚度及名義掃描范圍影響, 而Z 向交叉耦合誤差主要受探針偏置量及名義掃描范圍影響, 實驗驗證了所建立的運動學(xué)模型和誤差計算公式的正確性; 另外, 還提出了相應(yīng)的減小誤差的方法。