在基于原子力顯微鏡的納米操作過程中,由于缺乏實時反饋信息,造成納米操作效率低下且靈活性差,同時探針因受
力過大而損壞。為此,本文通過對探針受力- 懸臂變形進(jìn)行建模,并根據(jù)實時檢測到的懸臂變形信號、新的參數(shù)獲取與校準(zhǔn)
方法,從而獲取探針?biāo)艿膶崟r三維納米力。將此三力經(jīng)比例放大后送入力/ 觸覺設(shè)備進(jìn)行感知,操作者就可以實時調(diào)節(jié)施
加在探針上力的大小及探針的運(yùn)動軌跡,使得操作的效率及靈活性明顯提高,且可以避免探針因受力過大而造成損壞。納米
刻畫和多壁碳納米管的操作實驗驗證了系統(tǒng)的有效性。
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作者
田孝軍,王越超,劉連慶,焦念東,董再勵,席寧.
期刊
儀器儀表學(xué)報,27(7),661-665(2006)
年份