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在基于原子力顯微鏡的納米操作過(guò)程中,由于缺乏實(shí)時(shí)反饋信息,造成納米操作效率低下且靈活性差,同時(shí)探針因受
力過(guò)大而損壞。為此,本文通過(guò)對(duì)探針受力- 懸臂變形進(jìn)行建模,并根據(jù)實(shí)時(shí)檢測(cè)到的懸臂變形信號(hào)、新的參數(shù)獲取與校準(zhǔn)
方法,從而獲取探針?biāo)艿膶?shí)時(shí)三維納米力。將此三力經(jīng)比例放大后送入力/ 觸覺(jué)設(shè)備進(jìn)行感知,操作者就可以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)施
加在探針上力的大小及探針的運(yùn)動(dòng)軌跡,使得操作的效率及靈活性明顯提高,且可以避免探針因受力過(guò)大而造成損壞。納米
刻畫和多壁碳納米管的操作實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了系統(tǒng)的有效性。