利用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在有機(jī)玻璃(亞克力板)上完成Al的膜層制 備,并進(jìn)行了膜層表面的光澤度、附著力和耐腐蝕性等研究.實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),采用這種技術(shù)制備的Al膜具有較高的光澤度.在Al膜上沉積一層氧化硅薄膜可以提高耐 腐蝕性但不會對Al膜的光澤度產(chǎn)生影響.但是金屬薄膜在有機(jī)基材上的附著力較差,大約在6 N左右.為此可以利用Ar、O2等離子體對有機(jī)玻璃表面進(jìn)行清洗,或者在薄膜表面添加過渡層,即在鍍膜之前先在基材上鍍一層其他材料,然后再鍍金屬膜.實(shí) 驗(yàn)發(fā)現(xiàn)環(huán)氧材料或SiO2作為過渡層,薄膜的附著力有顯著提高.但需注意提高耐腐蝕性的同時(shí)不能影響薄膜光澤度和附著力
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作者
霍純青,桑利軍,陳強(qiáng),岳蕾,付亞波
期刊
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
年份