利用反應磁控濺射技術在有機玻璃(亞克力板)上完成Al的膜層制 備,并進行了膜層表面的光澤度、附著力和耐腐蝕性等研究.實驗發(fā)現(xiàn),采用這種技術制備的Al膜具有較高的光澤度.在Al膜上沉積一層氧化硅薄膜可以提高耐 腐蝕性但不會對Al膜的光澤度產生影響.但是金屬薄膜在有機基材上的附著力較差,大約在6 N左右.為此可以利用Ar、O2等離子體對有機玻璃表面進行清洗,或者在薄膜表面添加過渡層,即在鍍膜之前先在基材上鍍一層其他材料,然后再鍍金屬膜.實 驗發(fā)現(xiàn)環(huán)氧材料或SiO2作為過渡層,薄膜的附著力有顯著提高.但需注意提高耐腐蝕性的同時不能影響薄膜光澤度和附著力
論文下載
作者
霍純青,桑利軍,陳強,岳蕾,付亞波
期刊
真空科學與技術學報
年份