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氧化鋁(Al2O3)薄膜具有許多優(yōu)良的物理化學(xué)性能,在機(jī)械、光學(xué)及微電子等高科技領(lǐng)域有 著廣泛應(yīng)用,一直受到人們的高度關(guān)注。但Al2O3具有多種物相形態(tài),性質(zhì)差別...