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氧化鋁(Al2O3)薄膜具有許多優(yōu)良的物理化學性能,在機械、光學及微電子等高科技領域有 著廣泛應用,一直受到人們的高度關注。但Al2O3具有多種物相形態(tài),性質(zhì)差別...