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本文研究了過(guò)氧化氫(H₂O₂)拋光液體系中金屬釕的化學(xué)機(jī)械拋光行為,采用電化學(xué)分析方法和X射線光電子能譜儀(XPS)分析了氧化劑和絡(luò)合劑對(duì)腐蝕效果的影響,利用原子力顯微鏡(AFM)觀察拋光表面的微觀形貌.結(jié)果表明:在過(guò)氧化氫拋光液體系中,金屬釕表面鈍化膜的致密度和厚度與醋酸(CH₃COOH)和H₂O₂的濃度有關(guān).拋光液中醋酸主要通過(guò)促進(jìn)陽(yáng)極反應(yīng)的進(jìn)行從而增強(qiáng)拋光液對(duì)金屬釕的化學(xué)作用,CH₃COOH作為絡(luò)合劑比三乙醇胺(TEA)或酒石酸(C₄H₆O₆)得到的拋光速率更高.低濃度H₂O₂通過(guò)增強(qiáng)拋光液對(duì)金屬釕的化學(xué)腐蝕,拋光速率增大,較高濃度H₂O₂可能通過(guò)在金屬表面形成較厚的氧化膜,拋光速率下降.XPS圖譜說(shuō)明釕片浸泡在含醋酸介質(zhì)過(guò)氧化氫體系拋光液后,釕、氧原子相對(duì)含量之比約為2∶3,而且金屬釕被氧化到四價(jià)和八價(jià),這可能是因?yàn)榻饘籴懕砻嫔蒖uO₂和RuO₄.拋光后的金屬釕表面在5μm×5μm范圍內(nèi)平均粗糙度S_a由拋光前的33 nm降至6.99 nm