鉭酸鋰(LT)是一種優(yōu)良的熱釋電材料,可以制作成高性能的熱釋電探測(cè)器。由于探測(cè)器的電壓響應(yīng)和探測(cè)率與紅外敏感單元的厚度呈反比,所以對(duì)鉭酸鋰晶體的減薄成為器件成敗的關(guān)鍵因素。采用化學(xué)機(jī)械拋光方法制作出厚度為30μm的超薄鉭酸鋰晶體,并使用電荷積分法配合計(jì)算機(jī)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng),對(duì)不同厚度和表面粗糙度的晶體熱釋電系數(shù)進(jìn)行了測(cè)試和計(jì)算。測(cè)得最終制備的晶體的熱釋電系數(shù)達(dá)到了204μC·m-2K-1,顯示出良好的熱釋電性能。
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作者
林斯佳;梁庭;李穎;高利聰;周雷剛.
期刊
傳感器與微系統(tǒng),32,10,52-54(2013)
年份