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鉭酸鋰(LT)是一種優(yōu)良的熱釋電材料,可以制作成高性能的熱釋電探測器。由于探測器的電壓響應(yīng)和探測率與紅外敏感單元的厚度呈反比,所以對鉭酸鋰晶體的減薄成為器件成敗的關(guān)鍵因素。采用化學(xué)機(jī)械拋光方法制作出厚度為30μm的超薄鉭酸鋰晶體,并使用電荷積分法配合計(jì)算機(jī)自動測試系統(tǒng),對不同厚度和表面粗糙度的晶體熱釋電系數(shù)進(jìn)行了測試和計(jì)算。測得最終制備的晶體的熱釋電系數(shù)達(dá)到了204μC·m-2K-1,顯示出良好的熱釋電性能。