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采用溶膠-凝膠法制備MgxZn1-xO薄膜,利用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、傅里葉變換紅外光譜儀和熒光光譜儀等測試分析薄膜的微結構、表面形貌、紅外光譜和光致發(fā)光特性等,研究結果表明,薄膜中的Zn O成分均呈六角纖鋅礦結構,當x=0.15時,薄膜中有Mg O成分析出;隨著x從0增大到0.15,均方根粗糙度不斷減小;1038 cm-1附近的吸收峰對應于Si-O-Si的對稱和反對稱伸縮振動模,408 cm-1附近的吸收峰對應于六角結構Zn O的Zn-O振動模,900 cm-1附近的吸收峰則對應于SiO鍵伸縮振動模,該吸收峰強度的減弱說明薄膜中Si-O鍵數(shù)目減少。近帶邊發(fā)射峰位由410 nm藍移到370 nm與薄膜導帶底或價帶頂?shù)木钟蚰芗?、薄膜禁帶寬度變化等因素有關,可見光發(fā)射帶是單離子氧空位(VO+)和氧填隙(Oi)等薄膜本征缺陷相互競爭的結果。用接觸角測試儀測試薄膜的表面接觸角,研究Mg含量對薄膜的表面浸潤性及其光誘導可逆轉變的影響,并探討其形成機理。