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采用溶膠-凝膠法制備MgxZn1-xO薄膜,利用X射線衍射儀、原子力顯微鏡、傅里葉變換紅外光譜儀和熒光光譜儀等測(cè)試分析薄膜的微結(jié)構(gòu)、表面形貌、紅外光譜和光致發(fā)光特性等,研究結(jié)果表明,薄膜中的Zn O成分均呈六角纖鋅礦結(jié)構(gòu),當(dāng)x=0.15時(shí),薄膜中有Mg O成分析出;隨著x從0增大到0.15,均方根粗糙度不斷減小;1038 cm-1附近的吸收峰對(duì)應(yīng)于Si-O-Si的對(duì)稱(chēng)和反對(duì)稱(chēng)伸縮振動(dòng)模,408 cm-1附近的吸收峰對(duì)應(yīng)于六角結(jié)構(gòu)Zn O的Zn-O振動(dòng)模,900 cm-1附近的吸收峰則對(duì)應(yīng)于SiO鍵伸縮振動(dòng)模,該吸收峰強(qiáng)度的減弱說(shuō)明薄膜中Si-O鍵數(shù)目減少。近帶邊發(fā)射峰位由410 nm藍(lán)移到370 nm與薄膜導(dǎo)帶底或價(jià)帶頂?shù)木钟蚰芗?jí)、薄膜禁帶寬度變化等因素有關(guān),可見(jiàn)光發(fā)射帶是單離子氧空位(VO+)和氧填隙(Oi)等薄膜本征缺陷相互競(jìng)爭(zhēng)的結(jié)果。用接觸角測(cè)試儀測(cè)試薄膜的表面接觸角,研究Mg含量對(duì)薄膜的表面浸潤(rùn)性及其光誘導(dǎo)可逆轉(zhuǎn)變的影響,并探討其形成機(jī)理。