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介紹一種新型表面黏著力可控的表面的制備方法,通過(guò)局部陽(yáng)極氧化結(jié)合離子液體離子交換技術(shù),在納米尺度下制備復(fù)合圖案化織構(gòu)表面以及測(cè)量其表面力學(xué)特征。采用基于導(dǎo)電原子力顯微的局部陽(yáng)極氧化技術(shù)制備出各種形狀和尺寸的納米二氧化硅圖案陣列,利用自組裝技術(shù)對(duì)織構(gòu)化圖案進(jìn)行分子自組裝。通過(guò)對(duì)表面離子液體分子自組裝薄膜的表面陰離子進(jìn)行離子交換就可以對(duì)表面黏著力進(jìn)行控制。另外,采用新穎的膠體探針技術(shù)對(duì)實(shí)際的復(fù)合表面的黏著力學(xué)進(jìn)行表征。表征參數(shù)數(shù)據(jù)表明該實(shí)驗(yàn)方法能普遍用于半導(dǎo)體基底表面改性。