采用磁控濺射技術(shù)制備了MoS2,Ti/MoS2,Pb/MoS2和Pb-Ti/MoS2復(fù)合薄膜.通過(guò)AFM,SEM和XRD對(duì)薄膜的形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析;利用納米壓痕儀,CSM摩擦試驗(yàn)機(jī)和Bainano高真空摩擦試驗(yàn)機(jī)分析薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能,并探討了Pb、Ti摻雜對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu),力學(xué)和摩擦學(xué)性質(zhì)的影響.結(jié)果表明:Pb-Ti/MoS_2復(fù)合薄膜具有非常致密的結(jié)構(gòu),表面光滑平整,且具有較高的硬度;Pb、Ti共摻雜顯著提高M(jìn)oS2薄膜在RH75%高濕度環(huán)境下和真空環(huán)境下的摩擦學(xué)性能,在潮濕大氣和真空環(huán)境下磨損率分別為未摻雜MoS2的13%和25%,且低于單一摻雜MoS2薄膜.PbTi/MoS2復(fù)合薄膜優(yōu)異的摩擦學(xué)性能得益于Pb摻雜元素增加薄膜結(jié)構(gòu)的致密度和Ti摻雜元素提高薄膜的抗氧化和力學(xué)性能.
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作者
李浩;李霞;張廣安;王立平.
期刊
摩擦學(xué)學(xué)報(bào),36:6,708-716(2016)
年份