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采用陰極離子鍍?cè)贖13 鋼表面制備了TiAlSiN 涂層，通過掃描電鏡、X 射線衍射儀、原子力顯微鏡分析了涂層表面-界面形貌、物相和三維表面微觀形貌。利用EDS 面掃描分析了磨痕表面化學(xué)元素分布，討論了高溫對(duì)涂層摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明，TiAlSiN 涂層表面主要元素由Ti、Al、Si 和N 組成，主要物相為( Ti，Al) N，未發(fā)現(xiàn)Si3N4相; 高溫氧化后生成的致密氧化膜Al2O3提高了涂層高溫抗氧化性，SiO2降低了涂層表面摩擦因數(shù)，結(jié)構(gòu)疏松的TiO2易導(dǎo)致涂層破裂和剝落; TiAlSiN 涂層表面粗糙度高于基體表面粗糙度，磨痕表面Ti 和Al 元素出現(xiàn)貧集區(qū)，表明涂層被磨穿; 在700、800 和900 ℃下，涂層表面摩擦因數(shù)均在0. 3 左右，在700 ℃時(shí)磨損機(jī)制主要為氧化磨損和粘著磨損，在800 ℃和900℃時(shí)主要為氧化磨損，伴隨著少量粘著磨損和磨粒磨損。