V2O5是一種具有熱致相變特性的新型非線性光學(xué)材料,被廣泛應(yīng)用于激光致盲防護(hù)領(lǐng)域。V2O5薄膜的表面粗糙度是影響其性能的重要因素。本文采用磁控濺射鍍膜的方法在藍(lán)寶石表面制備V2O5薄膜,通過控制氧氬比以及襯底溫度,探究V2O5薄膜表面粗糙度與這兩個因素之間的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)表明,襯底溫度較低(約300℃)時(shí),表面粗糙度較小,且隨氧含量變化不大;襯底溫度較高(400℃以上)時(shí),隨著氧含量的增加,表面粗糙度變大。同時(shí),當(dāng)氧分壓一定時(shí),隨著襯底溫度的提高,薄膜的表面粗糙度也增大。
論文下載
作者
張吳暉;盧文壯;楊斌;楊凱;楊旭.
期刊
航空兵器,2,60-64(2017)
年份