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利用溶膠-凝膠法在氧化銦錫(ITO)襯底上制備了多鐵性鐵酸鉍薄膜,發(fā)現(xiàn)這種方法制備的薄膜具有典型的鈣鈦礦晶體結(jié)構(gòu),并表現(xiàn)出較好的介電性能。薄膜的漏電和鐵電性能測(cè)試表明由于漏電流比較大,薄膜在室溫下表現(xiàn)出不飽和的電滯回線,難以精確獲得剩余極化強(qiáng)度值。而在外加掃描電壓或電流時(shí),薄膜均呈現(xiàn)出明顯的阻變效應(yīng),可應(yīng)用于阻變信息存儲(chǔ)。最后,分析討論了元素?fù)诫s對(duì)薄膜鐵電性能和阻變效應(yīng)的影響。