掃描探針顯微鏡（SPM）是一種統(tǒng)稱，它是在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型探針顯微鏡，如靜電力顯微鏡，原子力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導(dǎo)顯微鏡，掃描電化學(xué)顯微鏡等都是掃描探針顯微鏡。
1、掃描探針顯微鏡無論是在化學(xué)、物理、生物、醫(yī)學(xué)還是在材料、微電子等各大領(lǐng)域都有著非常廣泛的應(yīng)用。而且掃描探針顯微鏡的價(jià)格對比電子顯微鏡等大型儀器來說還算是較低的。
2、同其它表面分析技術(shù)相比，掃描探針顯微鏡是有著很多優(yōu)勢的，不但能夠得到高分辨率的表面成像，和其他類型的顯微鏡相比（像電子顯微鏡，光學(xué)顯微鏡），掃描探針顯微鏡它掃描成像的一個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn)就是可以成三維的樣品表面圖像，并且還可以對材料的很多不同性質(zhì)進(jìn)行研究。同時(shí)，掃描探針顯微鏡也正在向著更高的目標(biāo)發(fā)展。它不僅要可以作為一種測量分析工具，而且還要成為一種加工工具，也將使人們有能力在極小的尺度上對物質(zhì)進(jìn)行改性、重組、再造。
雖然掃描隧道顯微鏡在化學(xué)中的應(yīng)用研究才只有幾年，但它涉及到的范圍卻是及其廣泛的。因?yàn)閽呙杷淼里@微鏡的最早期研究工作是在超高真空中進(jìn)行的，因此最直接的化學(xué)應(yīng)用是觀察和記錄超高真空條件下金屬原子在固體表面的吸附結(jié)構(gòu)。
?