今天本原的小編給大家介紹靜電力顯微鏡及其測量方法，讓我們一起了解一下。
靜電力顯微鏡（英文名：Electrostatic Force Microscopy,簡稱EFM）利用測量探針與樣品的靜電相互作用的一種，來表現(xiàn)樣品表面靜電勢能，電荷分布和它電荷輸運的掃描探針顯微鏡。
靜電力顯微鏡的工作原理與原子力顯微鏡非常相似。由懸臂梁組成的探針都是關鍵部分。不過它和原子力顯微鏡測量探針與樣品的范德華力不一樣，靜電力顯微鏡樣品成像是通過測量兩者的庫侖相互作用來實現(xiàn)。
在工作的時候，探針與樣品之間被加上工作電壓，懸臂梁探針受到靜電力的作用，在樣品表面震蕩，但是它不接觸樣品表面。
本發(fā)明提供了一種靜電力顯微鏡及其測量方法,靜電顯微鏡由掃描頭,低頻電壓信號發(fā)生器,高頻電壓信號發(fā)生器,低頻振動信號檢測器,高頻振動信號檢測器,控制器組成的,所說的掃描頭包括探針,探針位置感應器,壓電激振器,壓電掃描器；這個發(fā)明在已有靜電力顯微鏡基礎上,利用探針的較高次本身振動模式來測量靜電力.由于不一樣的振動模式中,探針和樣品的相互作用各有不同,它相應的性能也會存在差別,若果在分辨率,靈敏度和穩(wěn)定性等方面.這個發(fā)明能明顯提高大氣環(huán)境下的靜電力顯微鏡的空間分辨率。
今天的介紹就到這里了，歡迎下期看點。
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